T/CI 334-2024 半导体设备隔振系统设计及技术要求

本文件规定了半导体设备用隔振系统的设计程序、结构型式和技术要求。
本文件适用于隔振器为底部安装的半导体设备隔振系统的设计。
本文件中仪器本身被视为系统中已确定的载荷。