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JIS C 5630-28-2020 半导体器件 微机电器件 第28部分：振动驱动MEMS驻极体能量收集装置的性能测试方法

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JIS C 5630-28-2020 半导体器件 微机电器件 第28部分：振动驱动MEMS驻极体能量收集装置的性能测试方法

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