T/CSTM 01199-2024 多层金属薄膜层结构测量分析方法 X射线光电子能谱

本文件规定了X射线光电子能谱仪（XPS）深度剖析测量多层金属薄膜层结构的分析方法。
本文件适用于70 nm~240 nm深度内纳米尺度多层金属薄膜层成分、化学态、膜厚的表征。