您当前的位置：首页 > 行业标准 > 团体标准

T/CIE 132-2022 磁控溅射设备薄膜精度测试方法

  • [下载地址1]   [下载地址2]
  • 文件大小：2.69 MB
  • 标准类型：行业标准
  • 标准语言：中文版
  • 授权形式：免费
  • 文件类型：PDF文档
  • 安全检测：360：安全
  • 下载次数：3   加入收藏
  • 标签：

资料介绍

本文件规定了磁控溅射设备薄膜精度的测试方法,测试原理,被测件,测试环境和测试程序等。
本文件适用于磁控溅射设备沉积薄膜精度的验证。

下载地址

相关资料

下载说明

Copyright © 2002-2016 360book.net. All rights reserved.
国家标准 - 企业标准 - 行业标准 - 360book版权所有
京ICP备06036635号