YS/T 23-2016 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法

本标准规定了利用堆垛层错尺寸法测量硅外延层厚度的方法。
本标准适用于在<111>、<100>和<110>晶向的硅单晶衬底上生长的2μm～120μm硅外延层厚度的测量。