YS/T 791-2012 铂靶

本标准规定了铂靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及合同或订货单。
本标准适用于半导体器件用的各类铂溅射靶材，其他用途的铂靶材也可参照使用。