YS/T 679-2008 非本征半导体中少数载流子扩散长度的稳态表面光电压测试方法

本标准适用于非本征单晶半导体材料样品或相同导电类型重掺衬底上沉积己知电阻率的同质外延层中的少数载流子扩散长度的测量。要求样品或外延层厚度大于4倍的扩散长度。