YS/T 1158.3-2016 铜铟镓硒靶材化学分析方法 第3部分：铝、铁、镍、铬、锰、铅、 锌、镉、钴、钼、钡、镁量的测定 电感耦合等离子体质谱法

本部分规定了铜铟镓硒靶材中铝、铁、镍、铬、锰、铅、锌、镉、钴、钼、钡、镁量的测定方法。
本部分适用于铜铟镓硒靶材中铝、铁、镍、铬、锰、铅、锌、镉、钴、钼、钡、镁量的测定。测定范围：0.000 05 %～0.0020%。