SJ/T 11854-2022 光伏用直拉单晶硅炉

本文件规定了光伏用直拉单晶炉(以下简称单晶炉)的术语定义、规格型号、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存。
本文件适用于采用软轴直拉法进行太阳能级8英寸和12英寸单晶硅生长的单晶炉。