YB/T 4590-2017 硅材料用高纯石墨制品中杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法

本标准规定了电感祸合等离子体发射光谱法测定多晶硅用高纯石墨制品中铝、钙、铜、铁、钾、镁、钠、磷、砷、锌、镍、铬、硼含量的方法。
本标准适用于多晶硅用高纯石墨制品中铝、钙、铜、铁、钾、镁、钠、磷、砷、锌、镍、铬、硼含量的测定，测定范围见表1。